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DRY COOLING COIL

Dry Cooling Coil 개요

- 일반산업용이나 주거목적의 공조와는 달리 반도체 공장의
  Fab(Fabrication) 내부에서 요구하는 온∙습도 조건은 그 생산제품의 정밀도
  와 비례하여 높은 수준의 정밀제어가 요구되어집니다.

- Dry cooling coil은 Fab에 공급되어지는 공기를 코일의 냉각장치를 이용
  하여 Fab이 요구하는 실내온도 조건을 지속적으로 유지, 공급해주는
  열교환 장치입니다.

- 많은 풍량으로 인해 잠열 변화를 수반하지 않고, 작은 온도 차의 현열
  교환 만으로 Fab 내의 온도를 제어할 수 있는 장치로 Dry cooling coil을
  사용하게 됩니다.

- Dry cooling coil은 결로를 발생시키지 않아 Fin표면에 먼지를 흡착하지
  않은 Clean 장비이며 현재까지의 기술로 가장 효율적인 System입니다.

 

Dry Cooling Coil 특징

  • 내부에 현열 부하가 많은 장비가 가동 중에 있으며 별도의 열 배기를 행할 수 없는 구조의 Process에 적합합니다.
  • 현열 발열 장비이므로 가습 및 감습을 위한 장비는 불필한 Process에 적합합니다.
  • 온도 조절은 발열 장비의 용량 및 실내 유지온도의 노점온도에 적정한 수온 관리가 필요합니다.
  • 적정한 수온 관리를 통하여 냉각, 감습 부하 감소를 통하여 원가 절감이 가능합니다.
  • Coil 전면에 걸친 온도 분포의 균일성을 확보할 수 있으므로 실내의 부위별로 온도 편차를 최소화할 수 있습니다.
  • 온도분포의 균일성을 확보하기 위하여 Coil의 전면에 걸쳐 공기 유동이 편중되지 않는 구조로 배치되어야 합니다.
  • 실내온도의 노점온도 이상의 수온을 공급하여 결로에 의한 감습이 되지 않도록 하기 때문에 외조기 및 Zone 공조기의 냉각, 감습, 재열 부하를 감소할 수 있습니다.

Dry Cooling Coil 구조 및 명칭

[Dry Cooling Coil 3D]
Dry Cooling Coil 3D
[코일 단면도]
코일 단면도
① Cooling tube Copper tube Φ12.7 O.D. × t0.5 ② Fin Al Resin coating Fin
(수지코팅, 동착색) t0.14이상
③ Frame STS304 t2.0 ④ Supply header Copper pipe 50A with drain plug & ball valve 15A
⑤ Return header Copper pipe 50A with drain plug & ball valve 15A ⑥ Return nozzle Copper pipe 50A
⑦ Supply nozzle Copper pipe 50A ⑧ Catwalk Check plate 3.2t

Dry Cooling Coil 설계방법

  • Dry Cooling Coil 설계시 반드시 공기와 물의 열교환 방식은 온도분포가 우수한 대향류방식으로 설계할 것
코일 단면도
  • Coil Circuit 구성은 반드시 Coil 표면에 온도분포가 일정하게 배열, 유지될 수 있도록 Single Circuit를 구성하여야 함
항목 Single Circuit Half Circuit Double Circuit
유속 설계 유속과 일치함 설계 유속의 2배임 설계 유속의 1/2배
열교환 능력 설계치와 동일함 설계치 보다 높다 설계치 보다 낮다
Tube 부식성 설계치와 유사함 설계치 보다 짧다 설계치 보다 길다
온도분포 등분포 온도 편차가 존재 온도 편차가 존재
   

Dry Cooling Coil 운전 중 주의사항

시동전 점검사항
  • 각 볼트류는 확실히 체결되어 있는가 확인
  • Fin 보호용 골판지나 합판 등이 제거되었는지 확인
  • 배관의 Flushing은 확실히 되었는지, Coil의 Supply header 하단에 부착되어 있는 Ball valve을 열어 배수되는 물에 이물질 등은 없는지 재확인
  • 최상단 Coil의 Return header 상단에 부착된 Airvent용 Ball valve을 열어 Coil 내부에 공기 등의 불응측 가스는 제거하였는지 재확인
  • 시동 전 물 채우기를 할 경우 가능한 응축이 없도록 하기 위하여 실내 온∙습도를 확인하여 실내 노점온도 이상의 물 온도를 유지요망
시동시 점검사항
  • Valve 등의 개폐상태를 확인
  • Coil의 입출구 압력 및 온도를 확인하여 배관은 정확히 되었는지 점검
  • 코일 운전시 Airvent를 사용하여 배관 내에 존재하거나 생성되는 불응축 가스를 방출하여 Water hammer 등의 원인을 근본적으로 차단할 것
Coil 이상의 원인분석
열량이 부족한 원인
  • 공기가 By-pass될 때
  • Cooling tube가 막혔을 때
  • 유량이 부족하거나 밸브가 닫혔을 때
  • 스트레이너 등에 이물질이 가득 찼을 때
코일이 손상되는 원인
  • Water hammer가 발생될 때
  • 불응축 Gas에 의한 불균일한 선팽창이 일어날 때
점검사항 점검요령 원인 대책
Coil Fin 상태확인 육안 외부의 충격에 의해 발생 코일빗을 사용하여 Fin정렬
Coil 및 Airvent 연결 Nipple 상태 확인 육안 Coil 용접부위의 결함 누수발생 부위 용접 및
Nipple 교체요망
냉방 또는 수용난방 코일의 용량 부족 육안 공기가 우회될 경우 바람막이 판 확인 및 설치
육안 냉·온수량의 부족 깨끗이 청소 후 동관이 막히지 않도록 스트레이너 등을 설치할 것
육안 동관이 막힘 냉·온수 펌프 등의 순환계통을
확인하고 밸브 등을 조정할 것
육안 냉·온수 수온이 잘못된 경우 정확한 수온으로 공급